八大核心技術

核心技術1：功能性陶瓷材料生產流程

優(yōu)勢:全制程無污染,不排廢氣及廢水,研創(chuàng)公司制程方式，不受尺寸、面積及形狀的限制，彈性較大,適合各種新型粉末冶金靶材的制造。

研創(chuàng)公司陶瓷靶材生產產能

核心技術2：合金靶材真空感應熔煉技術

真空感應熔煉設備Vacuum Induction Melting

核心技術3：合金及陶瓷靶材熱壓(HP)制程

取得原料粉末后，比例秤重，以球磨的方式混合，然后填模及冷壓預成型，之后便進行高溫熱壓燒結。

熱壓陶瓷及合金靶的制作流程

可應用于AlTi/WTi/MoNa/MoK/CIGS/GeSbTe…等靶材生產

核心技術4：靶材與背板接合制程技術

靶材材料特性直接影響鍍膜性能，許多脆性金屬及陶瓷靶材無法直接濺鍍使用，必須與適當背板接合才能順利導電及散熱，也才能正常發(fā)揮功效，靶材與背板結合需考慮背板材質(強度及熱膨脹)、焊材種類及使用溫度的不同有所差異，研創(chuàng)應用材料團隊可依客戶需求選擇適當?shù)脑O計，以發(fā)揮材料的最佳性能。

靶材與背板接合工藝